GC-9560-EG電子氣氦離子化氣相色譜儀適用于高純氨、四氟化碳、六氟化硫、三氟化氮、硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，儀器配備高靈敏度的氦離子化（PDHID）檢測(cè)器，采用華愛色譜擁有實(shí)用新型專利號(hào)ZL 2015 2  0246254.1技術(shù)中心切割與反吹技術(shù)，并配置具有吹掃保護(hù)氣路的進(jìn)樣切換閥和進(jìn)口氦氣純化器，通過電子氣專用取樣系統(tǒng)取樣或在線進(jìn)樣方式，一次性完成上述電子氣體中H2、O2（Ar）、N2、CH4、CO、CO2等常見雜質(zhì)或其他特殊雜質(zhì)的檢測(cè)，檢測(cè)限達(dá)ppb級(jí)，重復(fù)性RSD≤1％。
      由華愛色譜承擔(dān)主要起草任務(wù)的國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 28726-2012《氣體分析 氦離子化氣相色譜法》已經(jīng)于2013年02月01日起正式公布實(shí)施。

一、適用標(biāo)準(zhǔn)：

GB/T 16942-2009《電子工業(yè)用氣體 氫》      GB/T 16943-2009《電子工業(yè)用氣體 氦》
GB/T 16944-2009《電子工業(yè)用氣體 氮》      GB/T 16945-2009《電子工業(yè)用氣體 氬》
GB/T 14604-2009《電子工業(yè)用氣體 氧》      GB/T 14600-2009《電子工業(yè)用氣體 氧化氬氮》
GB/T 14601-2009《電子工業(yè)用氣體 氨》      GB/T 24469-2009《電子工業(yè)用氣體 5N氯化氫》
GB/T 14603-2009《電子工業(yè)用氣體 三氟化硼》GB/T 18994-2003《電子工業(yè)用氣體 高純氯》
GB/T 14851-93《電子工業(yè)用氣體 磷化氫》    GB/T 17874-1999《電子工業(yè)用氣體 三氯化硼》
GB/T 15909-2009《電子工業(yè)用氣體 硅烷》    GB/T 21287-2007《電子工業(yè)用氣體 三氟化氮》
GB/T18867-2002《電子工業(yè)用氣體 六氟化硫》
二、技術(shù)參數(shù)：

1、檢測(cè)限（ppb）：

2、溫控指標(biāo)：

•  柱    箱：室溫上8℃－400℃   精度±0.1℃

•  進(jìn) 樣 器：室溫上8℃－400℃   精度±0.1℃

•  檢 測(cè) 器：室溫上8℃－400℃   精度±0.1℃

•  溫控?cái)?shù)量：八路

•  程序升溫：八階

•  升溫速率：1℃~40℃

•  降溫速度：7分鐘以內(nèi)（350℃到50℃）

3、氦離子化檢測(cè)器（PDD）：

•  放電模式：脈沖放電

•  基線噪聲：≤0.1mv

•  基線漂移：≤0.5mv/30min

•  檢測(cè)限：≤1.0×10-10g/ml

4、載氣純化器：

•  可純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn

•  大操作壓力：1000Psi

•  去除氣體：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等

•  殘留濃度：≤10ppb

5、工作站性能：

•  通訊接口：RS232/USB接口  

•  高精度：24位的高精度A/D

•  分辨率：±1uv            

•  輸入電平范圍：-5mv至+1v

•  采樣頻率：最高20次/秒   

•  動(dòng)態(tài)范圍：106

•  積分靈敏度：1μv?sec   

•  線性度：<±0.1%。< span="">

•  重現(xiàn)性：0.06％。

6、其他參數(shù)：尺寸、重量、電源

•  尺寸：寬655mm×高500mm×深480mm

•  重量：～48kg

•  電源：220V±22V，50Hz，功率≥2kW

四、分析譜圖

1、電子工業(yè)用氣-氨

 
2、電子工業(yè)用氣-四氟化碳